通常來講超純水設備與純水設備分別用來制取超純水與純水的一個裝置。通常情況下,用電導率來衡量純水,而用電阻率來衡量超純水的水質。一般人為電導率在1-10μs/cm的為純水,電阻率1-18MΩ•cm以上的為超純水。這是二者在產水水質上的差異。
通常來講制取純水的設備,一般采用離子交換工藝,現代的做法,多采用反滲透裝置作為主要制取工藝。在某些行業,還會采用二級反滲透工藝。根據原水的差異化,在反滲透的前端還有不完全一樣的預處理工藝。
還有在反滲透裝置基礎有混床,混床是離子工藝一種類型。現代的做法,多采用EDI裝置作為超純水的主要制取工藝。根據用水的要求的差異化,后端的處理工藝也不完全一樣。
純水設備大多數應用在對用水要求不是太高的行業,比如表面處理,精洗化工,塑膠、五金件的初級清洗;而超純水設備則多應用在用水要求特別高的行業,比如柔性線路板的清洗,手機玻璃蓋板的清洗,攝像頭模組、顯示模組的制造,半導體等等。